HBO Microlithography Lamps for Süss Systems
Características del producto
- High spectral intensity with peak irradiance at 365nm wavelength, making it ideal for microlithography
- Designed for long lasting performance
- Qualified with Süss
Áreas de aplicación
- Microlithography
Instrucciones de seguridad
Debido a su elevada luminancia, la radiación UV y la elevada presión interna (al calentarse), las lámparas HBO solo pueden funcionar en carcasas cerradas fabricadas especialmente para ese fin. El mercurio se libera si se rompe la lámpara. Se requieren precauciones de seguridad especiales. Se dispone de información adicional a petición, o bien en el folleto que se adjunta con la lámpara, o en las instrucciones de funcionamiento.
Debido a su elevada luminancia, la radiación UV y la elevada presión interna (al calentarse), las lámparas HBO solo pueden funcionar en carcasas cerradas fabricadas especialmente para ese fin. El mercurio se libera si se rompe la lámpara. Se requieren precauciones de seguridad especiales. Se dispone de información adicional a petición, o bien en el folleto que se adjunta con la lámpara, o en las instrucciones de funcionamiento.
Information about Family
HBO lamps > 200W are designed to meet the high demands of the Semiconductor industry. With peak intensity at 365nm these lamps are ideal for microlithography and are designed and qualified for specific equipment manufacturers.
Products
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Hoja de datos del producto | ||
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HBO 5000 W/S
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5000 W | 50.0 V | 143,5 mm | 360.0 mm |